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固晶机拾片引导系统



   固晶机最简单的来讲就是视像定位与机器结构的动作配合,机器的像机就像它的眼睛,是获得生产信息的窗口,然后这些信息又被PC或是Firmware 部分进行数据处理计算,再由CPU控制马达机构部分进行运作,同时伺服反馈系统也因是锁相环系统可随时跟踪控制运行的状况,然后完成一个Cycle,有的还有Post bond的检测,这就还会有一个视像信号的处理过程和计算,告知计算需求的结果与实际机器生产出来结果的对比,可以以此为参考而做些相应的调整或是校正等!


 固晶机拾片引导系统

检测内容:

将晶片(Die)从晶圆(Wafer)上自动取放到料带上,并准确放置。

检测要求:

通过视觉定位和引导,将晶片从晶圆(Wafer)上自动取放到基板上;速度:50ms/pcs。

系统说明:

晶圆上的单个晶片面积非常小(约0.078平方毫米0.28*0.28mm),数量极多,且位置不固定,因此对传统装片机的电机走位精度、工作稳定性和速度提出了非常高要求。传统装片机存在以下几个重要弊病:

1.走位不准:因为晶片切割及晶圆贴膜等原因很容易造成晶片在晶圆上位置分布不均。

2.晶片浪费:晶片在晶圆上呈圆形分布,采用传感器定位边界的方法势必会造成边界定位不准而致使一些晶片拾取不到,从而在晶圆上残留一些晶片。

3.操作较为麻烦:由于机器以固定步距及方向行走,所以晶圆与电机的水平一致性要求非常高,极小的角度偏差都会导致累加误差过大,这就要求操作员在每次换料时耐心的将晶圆与电机位置调到最佳,而且每次开始时都需要操作员手工进行晶片对位。 因为边界定位采用传感器,机器需要操作员不断手工调节边界传感器位置,较为繁琐。

4.效率较低:由制作工艺本身造成的晶圆上存在相当数量的坏料或空料,传统的光电传感器识别准确度不高,导致后期成品合格率下降,影响生产效率。


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固晶机整体结构 固晶机的认识

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