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固晶机对伺服驱动的要求

   固晶机上总共采用6套伺服驱动,分别控制X,Y轴传动机构以及键合臂取晶动作。其中要求最高的为控制键合臂的伺服。
    伺服电机通过同步带带动连杆快速正反转实现装有吸晶咀嘴的键合臂做逆时针和顺时针方向位移,逆时针到位后吸晶咀吸取晶元然后顺时针固定晶圆。

此动作要求:1.快速定位时,马达要平稳,不能抖动,否则吸晶和固晶的位置会不准确;

2.客户要求每个动作周期尽量的快,由此对伺服的响应有较高要求。
    通过伺服增益参数的调整,可以实现对固晶机键合臂伺服的调整。

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佳思特固晶机机械结构 固晶机居然有这样的功能!

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